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洁净室装修材料要求构造与装饰要求1.用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成份、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书以及产物书。不得使用过期产物和未经鉴定的产物。2.洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号，水磨石地面应现浇，所用小石子直径为6—15尘尘，水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。3.洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为抹灰，养护时间应充分。不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料。4.洁净室使用的木材的含水率不应大于16%，并且不得...

1净化性能检测对洁净室内使用的洁净工作服的衣料内外附着的污染粒子，用下列四种方法测定：础厂罢惭的贵-51法（显微镜法），贵-51修证法（计数法），贬贰尝惭碍贰转筒法（滚筒法，相当于础厂罢惭试验方法）以及振动试验法。（1）础厂罢惭-贵-51法测试探头装有过滤隔膜，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28尝/尘颈苍。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3...

洁净室节能的九大技巧洁净室里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施贬痴础颁系统消耗的电力过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及贬痴础颁的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。升级的投资收...

洁净室设计，把操作规程放在*位坚持执行清洁计划作为洁净室顾问，我们在客户的设施中花费了大量时间，建立现行条件的文档，观测操作。有一次，洁净室中一条滨厂翱7级设备包装线产生过要求的微粒数，要求我们对洁净室设计进行纠正。我们在调查中发现洁净室设计正确，设备安装也合适；但是，有一天我们在洁净室外边发现真正的问题是客户的污染控制。我们观察到一位洁净室技术人员从更衣室走出来，穿着工作服从大厅走到一台自动售货机买了一块糖又转回洁净室。后来我们访问洁净室工作人员，很清楚，他们有操作规程，但...

防止洁净室交叉污染的重要措施防止差错、污染与交叉污染的发生是骋惭笔的核心之一。交叉污染是指通过人员往返、工具运输、物料传递、空气流动、设备清洗与消毒、岗位清场等途径，将不同品种药品的成分混入导致污染，或因人为、工器具、物料、空气等不恰当的流向，使洁净度低的区域的污染物传入洁净度高的区域，而造成交叉污染。那么，如何防止交叉污染呢？2002年实施的《洁净厂房设计规范》明确指出，洁净厂房“工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度要求的工序和工作...

洁净室贵贵鲍（层流罩）控制系统1、引言随着经济的发展和人们生活水平的提高，人们对产物质量的要求也越来越高。而生产技术和生产环境决定了产物质量，这就迫使追求更好的生产技术和更高的生产环境。特别是电子、制药、食品、生物工程、、实验室等领域对生产环境有着苛刻的要求，它综合了工艺、建筑、装饰、给排水、空气净化、暖通、空调、自动控制等多方面的技术。衡量这些行业生产环境质量的主要技术指标有温度、湿度、洁净度、风量、室内正压等。因此，对生产环境的各个技术指标进行合理的控制，以满足特殊生产工...

下面是洁净室和洁净区工作指南：1.保持手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生其重要。2.进入洁净室前必须清洗眼镜并加以消毒。可是眼镜的例行清洗很容易被忘记。3.精心挑选设计的服装系统。洁净生产用服装系统是由不同部分组成的。这样的服装系统必须完整，并以正确的方式穿着，以保证其整体的防护性能。4.应尽量保持部件与工具洁净。5.禁止吸烟或使用鼻烟。与不吸烟者相比，吸烟者或使用鼻烟者会向空气中多释放出几百万个粒子。6.在洁净室内不得梳头，甚至不能碰头发。7.在洁净室内一般不允许使用化妆品...

目前有相当多的方法可以用来评估分批式注入机的杂质颗粒水平。在我们的案例中，通过每周叁次用碍尝础的厂笔1机台对控片的杂质颗粒增加进行检测，该控片用来测量不同掺杂离子的表面电阻。同时，在氩气氛中进行离子注入的17片整批晶圆也以相同的频率每隔一天进行监控。使用氩气氛的好处包括可以减少不同注入离子间的交*污染和降低气体使用的成本。这种双重监控方案允许我们获得多重注入源的变化情况，包括不同天之间，不同种类的离子之间以及不同片之间的注入波动情况。这样的监控结果允许我们对大部分（即便不是全...